蒸镀机设备供货公司

真空镀膜机的操作注意事项：1、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；2、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；3、工件旋转时，禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；4、电镀作业完成后，需要打开门时，应有作业人员扶住拉手，缓慢的将门打开，并将插销插入固定孔中；5、真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。真空镀膜机必须使用机械泵、机械泵也被称为前级泵。蒸镀机设备供货公司

真空镀膜机镀膜前的清洗：紫外线辐照清洗，利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如，在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中。要不了几分钟就可以形成清洁表面（工艺清洁）。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是：在紫外线照射下，污物分子受激并离解，而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用。形成较简单易挥发分子。如H203、CO2和N2，其反应速率随温度的增加而增加。南昌实验室真空蒸镀设备真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。

真空镀膜机如何选择？1、设备的稳定性必须好，所选配件必须可靠。镀膜机本身是一个复杂的系统，包括真空、自动化、机械等多个系统。任何部件的不可靠，都会导致系统不稳定，给生产带来不便。因此，一个稳定的设备应该确保所选的每个部件都是可靠的。2、抽真空系统，目前基本上有两种，一种是扩散泵系统，另一种是分子泵系统，分子泵系统属于清洁抽真空系统，没有扩散泵的返油现象，抽油速度也比较稳定，而且比较省电，电费支出是镀膜企业生产经营成本的一个重要环节。对泵系统的定期维护非常重要，尤其是润滑油的定期更换，要注意油品牌号的选择，选错了很容易损坏真空泵。

真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，特别是需要高真空度的设备，通常我们需要达到高真空度，抽气系统的作用是功不可没的，但除了抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是，工件的除气。有些工件它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常必要的。真空镀膜机连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

真空镀膜机的真空室该如何设计？（一）焊接要求，根据需要，在该设备真空室的结构设计上也有所差别，常见有圆柱形、圆锥形、盒形等结构。对于我们的镀膜机真空室的焊接技术上，要求有基本五点：为了防止镀膜机的外壳变形，真空室的非气密焊接一般用间断焊。焊缝的总长度尽量短些，高度要大于真空室壳体的三分之一厚度，才能避免一些漏气的可能。焊缝要便于做真空检漏工作，尽量别在焊缝上开孔。焊缝与焊缝间别存在交叉，两缝的中心线位置间应大于10cm的距离。（二）主体材料，镀膜机真空室通常以金属轧制板材作为主要材料制作，作为真空室的主体材料要求可焊性、气密性要求比较高。对于一般的镀膜机真空室使用的主体材料通常是低碳钢、合金钢、铝和铜之类的金属或合金。而不锈钢则一般用于需要高真空、耐腐蚀的工艺的型号中。（三）封头类型，作为镀膜机真空室的一个重要零件——封头，可与筒体焊接组成一个整体。真空镀膜设备的封头形式有球形、锥形、凸形、平盖形等封头类型。真空镀膜机是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。银川真空蒸镀装置

真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前，对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命。蒸镀机设备供货公司

真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。(1)基片表面清洁。真空室内壁、基片架等表面的油污、锈迹、残余镀料等在真空中易蒸发，直接影响膜层的纯度和结合力。镀前必须清沽干净。(2)镀前准备。镀膜室抽真空到合适的真空度，对基片和镀膜材料进行预处理。加热基片，其目的是去除水分和增强膜基结合力。在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的气体脱附。然后经真空泵抽气排出真空室，有利于提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力。然后达到一定真空度后．先对蒸发源通以较低功率的电，进行膜料的预热或者预熔，为防止蒸发到基板上，用挡板遮盖住蒸发源及源物质，然后输入较大功率的电，将镀膜材料迅速加热到蒸发温度，蒸镀时再移开挡板。(3)蒸镀。在蒸镀阶段要选择合适的基片温度、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数。沉积气压即镀膜室的真空度高低，决定了蒸镀空间气体分子运动的平均自由程和一定蒸发距离下的蒸气与残余气体原子及蒸气原子之间的碰撞次数。(4)取件。膜层厚度达到要求以后，用挡板盖住蒸发源并停止加热，但不要马上导入空气。蒸镀机设备供货公司

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